planarization
- 网络平坦化;平坦化能力;平面化技术
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planarization
平坦化
平坦化 (Planarization) —— 何立娟 2012-6-7 ? 1.平坦化基础理论 ? 2.传统平坦化技术 ? 3.CMP技术 2012-6-7 1.平坦化基础理 …
平坦化能力
...、低薄膜应力(low film stress)、高平坦化能力(planarization)、低热涨系数(coefficient of thermal expansion)以及与化 …
平面化技术
...技术和先进的专业制造技术,如先进的用于最小化波动的平面化技术(planarization),从而实现35mm全画幅2481万有效像 …
平坦化制程
...er)等之厚度,或是发展铝栓塞(Al-plug)及平坦化制程(Planarization),以改善组件之电磁特性,并简化制造流程,降低本钱等。
平坦性
...充物(Dummy Filler)规则,来增加研磨 平坦性(Planarization)。
化学机械平面化
在这个应用中,CMP 被翻译成化学机械平面化 (Planarization) 。 背处理 在许多情况下, 只是晶圆的正面经过充分的化学机 …
平坦度
然而大平面的抛光需要顾及宏观的平坦度(Planarization),而其最困难的工作乃反映在抛光2012年即将登场的450 mm(18寸)的大 …
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