XSEM
- 网络横切面扫描式电子显微镜
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横切面扫描式电子显微镜
横切面扫描式电子显微镜（XSEM）可以用来量测导线的厚度，但缺点是速度慢且代价高，因为这不仅需要把晶圆从制程中取出…
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