UV-LIGA
- 网络紫外光刻；紫外光深刻模造法；紫外深度光刻
UV-LIGAUV-LIGA
紫外光刻
...SU-8 环氧树指为基础之负型厚膜光阻之后，利 用紫外光刻（UV-LIGA）进行高深宽比结构之制造便被广为研究，其在微机电 …
紫外光深刻模造法
在本研究中,以紫外光深刻模造法(UV-LIGA)用 UV 光照射於 SU-8 光阻上,然后再配合微电铸技术得到Ni-Co 基生物晶片模版,作 …
紫外深度光刻
...，如LIGA技术制作高深宽比微结构的基本加工技术、紫外深度光刻(UV-LIGA)、高深宽比微电铸和模铸加工、功能材料薄膜制 …
光蚀刻制程
...3-1 (UV-LIGA) (MEDM ) 即以黄光蚀刻制程(UV-LIGA)一次同时制作出數十个微柱阵列， 再结合微 放电加工技术(MEDM ) 一 …
电铸和注塑
...Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试(本文共计3页)......[继 …
紫外厚胶光刻工艺
...加工技术，它采用同步辐射X光光刻工艺（LIGA）、紫外厚胶光刻工艺（UV-LIGA）或硅深层刻蚀工艺（DEM），以及后续 …
分类号
一种新型微流控芯片金属热压模具的制作工艺研... ... 年，卷(期)： TN305.7 TQ153 分类号： UV-LIGA 电铸 TG7 TS7 ...
紫外光光刻术
...可分为四个主要范围，分别为X光深刻术（LIGA）、紫外光光刻术（UV-LIGA）、雷射光刻（Laser-LIGA）以及高深度反应离 …
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