MOEMS
- 网络微光机电系统(micro-opto-electro-mechanical systems);微光电子机械系统;微光电机系统
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MOEMS
微光机电系统(micro-opto-electro-mechanical systems)
因此微光机电系统(MOEMS)是微电子机 械系统(MEMS)的一个很有前途的应用领域。 将 MEMS 与光器件融合于一体的微 …
微光电子机械系统
微光电子机械系统(moems)是一种将mems技术引进到光电子中的新应用。近几年,mems/moems技术的迅速发展使其在汽 …
微光电机系统
以微光电机系统(MOEMS)技术为基础的器件的开发在飞速进行,其中最著名的是Texas仪器公司的数字微反射镜阵列,它们 …
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