EUV
- 网络极紫外光(Extreme Ultra Violet)；极紫外光刻；紫外线
EUVEUV
极紫外光(Extreme Ultra Violet)
...奈米以下技术节点下一世代微影技术的主要候选者，传统极紫外光(EUV)所搭配之光罩基板以低热膨胀系数材料(LTEM)为基材…
极紫外光刻
另：纳米压印技术与极紫外光刻(EUV),电子束直写(EBDW)和定向自组装(DSA)并称为下一代芯片光刻技术(NGL)的四大候选人…
紫外线
新技术如超紫外线（EUV）以及无掩膜电子束光刻技术目前还不够成熟，无法满足深纳米工艺的需求。193nm嵌入光刻技术将 …
远紫外
原本被看好的远紫外（EUV）光刻技术在迟迟难获实质进展之时，193 Immersion Lithography （浸没式光刻）技术似乎又成了 …
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