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- 网络多晶硅纳米薄膜；倘
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多晶硅纳米薄膜
【摘要】： 多晶硅纳米薄膜(PSNF)因其良好的压阻特性,有着广阔的应用前景,本文为PSNF在压阻式压力传感器上得到更好的应 …
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