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  • 网络曝光后烘烤(post exposure bake)

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曝光后烘烤(post exposure bake)

o' f7 e7 d$ J3 z  何谓PEB(Post Exposure Bake)?! q: ]! L1 ~( U! }1 Z: x  答:PEB是在曝光结束后对光阻进行控制精密的Bake的 …

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