Werr
- 网络湿法刻蚀速率比
WerrWerr
湿法刻蚀速率比
...量，降低H含量。 3.3 氮化硅刻蚀速率对比分析 湿法刻蚀速率比（WERR）由100:1 稀释的氢氟 图3 不同工艺条件下氮化物薄 …
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